在SF6電氣設備中，不同類型絕緣毛病會導致SF6發生不同的分化產品，這些產品在體積分數、生成速率等方面有顯著差異。這其間，SO2和H2S是毛病類型的典型氣體，經過對其體積分數及體積分數變化進行檢測和監測便可以判別出絕緣毛病的類型與嚴重程度。

　　六氟化硫(SF6)氣體因其具有極端安穩的化學性質、優異的絕緣特性和滅弧特性，而被廣泛應用于35 kV及以上電壓等級的氣體絕緣開關(GIS)和高壓斷路器等電氣設備中。在高壓絕緣設備中，引起SF6分化的首要因素是放電和熱。

　　放電包括電弧放電、火花放電和電暈放電，放電量大小不同會導致生成不同的衍生物，放電環境不同也會導致生成不同的衍生物。純SF6氣體是無色、無味、無毒、不燃的惰性氣體，其本身的分化溫度>500 ℃。在放電或熱作用下純潔SF6氣體分化后會在極短的時間內又敏捷復合為SF6。
　　可是，當SF6氣體中混有微量O2和H2O時，SF6氣體分化的產品會與O2和H2O發生復雜的化學反應，生成SOF2、SOF4、SO2F2、HF、SO2和H2S等可以安穩存在的有毒或腐蝕性氣體組分。這將嚴重影響SF6氣體的耐電強度，而且還會腐蝕設備內的固體絕緣材料和金屬部件，加速其絕緣老化，終究導致突發性電氣毛病。
　　SF6電氣設備內部常見毛病可概括為以下3種：
　　①導電金屬對地放電，首要表現在SF6氣體中存在導電顆粒雜質引起對地放電和絕緣子絕緣缺點后引起對地放電，因為放電能量都較大，導致SF6氣體和熱固性環氧樹脂分化發生很多SO2、H2S、HF、SOF2和金屬氟化物等；
　　②懸浮電位放電，表現在斷路器動觸頭與拉桿間接觸不良和CT電容屏頂部固定螺絲松動引起金屬間懸浮電位放電，這種放電能量不高，一般情況下會生成SO2、HF、H2S及金屬氟化物等；
　　③導電桿銜接接觸不良，當毛病點溫度>500 ℃時，SF6開始熱分化。當溫度達600 ℃時，鋁合金導桿將熔化，并引起支撐的絕緣子分化，首要氣體產品如SO2、H2S、HF、SO2F2等。從以上SF6分化品種可知，SO2和H2S氣體是內部毛病的典型標志物，經過對SO2和H2S氣體的體積分數及體積分數變化進行檢測和監測便可對設備內部缺點及嚴重程度進行準確評估。